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SIDSP探頭
探頭 特性 | F1.5，N0.7，FN1.5 | F2 | F5，N2.5，FN5 | F15 | ||
F | N | F | F | N | F | |
測量范圍 | 0-1.5mm | 0-0.7mm | 0-2mm | 0-5mm | 0-2.5mm | 0-15mm |
使用范圍 | 小工件，薄涂層，跟測量支架一起使用 | 粗糙表面 | 標準探頭，使用廣泛 | 厚涂層 | ||
測量原理 | 磁感應 | 電渦流 | 磁感應 | 磁感應 | 電渦流 | 磁感應 |
信號處理 | 探頭內部32位信號處理（SIDSP） | |||||
度 | ±（1μm+0.75%讀值） | ±（1.5μm+0.75%讀值） | ±（5μm+0.75%讀值） | |||
重復性 | ±（0.5μm+0.5%讀值） | ±（0.8μm+0.5%讀值） | ±（2.5μm+0.5%讀值） | |||
低端分辨率 | 0.05μm | 0.1μm | 1μm | |||
小曲率半徑（凸） | 1.0mm | 1.5mm | 5mm | |||
小曲率半徑（凹，外置探頭） | 7.5mm | 10mm | 25mm | |||
小曲率半徑（凹，內置探頭） | 30mm | 30mm | 30mm | |||
小測量面積 | Φ5mm | Φ10mm | Φ25mm | |||
小基體厚度 | 0.3mm | 40μm | 0.5mm | 0.5mm | 40μm | 1mm |
連續模式下測量速度 | 每秒20個讀數 | |||||
單值模式下大測量速度 | 每分鐘70個讀數 | |||||
